描述
SG2165 精密型源测量单元（SMU）能够实现四象限操作，精确地输出电压或电流以及同时测量电压、电流和电阻等功能。它集成了六位半数字万用表 (DMM) 、五位半精密电压源、电流源、电子负载和脉冲发生器的功能，具有功能丰富，体积小巧紧凑，标准测试接口等特点，非常适合集成到测试治具中。SG2165 源测量单元平台主要用于半导体、传感器、模组等 IVR 测试测量。其为产线测试量身定制，为产线自动化 ICT 及 FCT 提供高效、高性价比的测试测量 解决方案。
产品特色
- 集 5 台仪器 (数字万用表、电压源、电流源、电子负载和脉冲发生器) 功能于⼀体
- 典型输出源及测量精度 0.02%，支持直流/脉冲输出模式
- 脉冲输出模式，最⼩脉冲宽度 100 us ，上升时间 10 us
- 具有 pA 级分辨率高精度源，且支持多通道并联扩流功能
- 支持 2 线、4 线制电阻测量
- 支持 SCPI 驱动及命令
I-V 测试性能
适用范围
主要用于：半导体、传感器、模组等 IVR 测试测量
其为产线测试量身定制，为产线自动化 ICT 及 FCT 提供高效、高性价比的测试测量解决方案。
规格
| 型号 | SG2165 | ||||
| 规格 | 20 W | ||||
| 通道数量 | 1 | ||||
| 象限 | 4 | ||||
| 电压精度 | 量程 | 设定分辨率 | 设定精度 | 测量分辨率 | 测量精度 |
| 200 mV | 2 uV | 0.02%+375 uV | 15 nV | 0.02%+375 uV | |
| 2 V | 20uV | 0.02%+600 uV | 150 nV | 0.02%+600 uV | |
| 20 V | 200uV | 0.02%+5 mV | 1.5 uV | 0.02%+5 mV | |
| 电流精度 | 量程 | 设定分辨率 | 设定精度 | 测量分辨率 | 测量精度 |
| 100 nA | 1 pA | 0.06%+50 pA | 10 fA | 0.06%+50 pA | |
| 1 uA | 10 pA | 0.03%+700 pA | 100 fA | 0.03%+700 pA | |
| 10 uA | 10 0pA | 0.03%+5 nA | 1 pA | 0.03%+5 nA | |
| 100 uA | 1 nA | 0.03%+60 nA | 10 pA | 0.03%+60 nA | |
| 1 mA | 10 nA | 0.03%+300 nA | 100 pA | 0.03%+300 nA | |
| 10 mA | 100 nA | 0.03%+6 uA | 1 nA | 0.03%+6 uA | |
| 100 mA | 1 uA | 0.03%+30 uA | 10 nA | 0.03%+30 uA | |
| 1 A | 10 uA | 0.05%+1.8 mA | 100 nA | 0.05%+1.8 mA | |
| 3 A (≤6 V ) | 100 uA | 0.4%+8 mA | 1 uA | 0.4%+8 mA | |
| 输出 | 电压源 | 量程 | 典型输出建⽴时间 | 测试条件 | |
| 200 mV | ＜20 us | 空载条件下，10%-90% 的电压变化时间 | |||
| 2 V | ＜50 us | ||||
| 20 V | ＜200 us | ||||
| 电流源 | 100 nA | ＜10 ms | 在输出短路条件下 10%-90% 的电流变化时间 | ||
| 1 uA | ＜5 ms | ||||
| 10 uA | ＜5 ms | ||||
| 100 uA | ＜1 ms | ||||
| 1 mA | ＜300 us | ||||
| 10 mA | ＜20 us | ||||
| 100 mA | ＜20 us | ||||
| 1 A | ＜20 us | ||||
| 电压纹波噪声 (10 Hz-20 MHz） | 3 mVrms, 20 V range | ||||
